工藝設備在線監(jiān)測
將SADP與產(chǎn)線氣體管路連接，實時監(jiān)測CVD或ALD設備的進氣露點。例如，在硅烷（SiH?）氣體輸送過程中，若露點突然上升至-60℃，可能提示純化器失效，需立即停機檢修。

故障排查與預防性維護
當產(chǎn)線出現(xiàn)良率下降時，使用SADP快速定位氣體水分異常。通過檢測蝕刻氣體中的水分波動，發(fā)現(xiàn)某批次氮氣因純化器再生不導致露點超標，及時更換濾芯避免批量報廢。

SADP與其他檢測技術的對比

相較于傳統(tǒng)冷鏡式露點儀，SADP的優(yōu)勢在于：

無需液氮制冷：冷鏡儀需依賴液氮維持低溫，而SADP采用氧化鋁傳感器，無需外部冷源，操作更安全；

抗污染能力強：半導體氣體中可能含微量腐蝕性雜質(zhì)，SADP的傳感器表面涂層可減少污染影響，延長校準周期；英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導體制造中超純氣體水分檢測應用

• 成本效益高：單臺SADP價格約1-5萬元，遠低于高精度冷鏡儀（通常>10萬元），且維護成本更低。

英國肖氏SADP便攜式露點儀以其高精度、快速響應及本質(zhì)安全特性，契合半導體制造對超純氣體水分檢測的需求。無論是氣體供應驗證、工藝設備監(jiān)測還是故障排查，SADP均能提供可靠數(shù)據(jù)支持，助力半導體工廠提升良率、降低維護成本。隨著芯片制程向3nm及以下推進，SADP的技術價值將進一步凸顯。

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